nSpec®CPS

概述 特性 规格

nSpec®CPS

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具有人类智能水平的自动检测

一个复杂的图像处理AOI系统，提供可定制性和灵活性，以及可靠的、高度可重复的结果。增高软件,的印象，可以用稀疏的数据来检测缺陷nSpec®。经过训练后，该算法可以导入到生产工具中，用户可以开始自动分类感兴趣的缺陷和特征。该系统生成一份晶圆片上检测到的所有缺陷的缺陷地图报告。

nSpec®CPS

完全自动化的检查:

  • 衬底晶片
  • Epi晶片
  • 有图案的晶片
  • 丁晶片
  • 个人设备
nSpec ®CPS

特性

自动处理晶片 多分辨率设置 快速扫描 可定制的缺陷报告 晶片拼接 多种规格的样品卡盘，以满足特定需求 对缺陷或特征的兴趣检测和分类的鲁棒分析 检查及覆核程序 多系统同步 占地面积小，设施要求最低 机架安装控件 门互锁

具有自动检查过程的功能

188宝金博网页版下载Nanotronics的装载机控制软件具有分组和单独晶圆处理功能。该软件可以保存在一个食谱的测序给用户高度可重复的结果。该软件还允许您标记晶圆，以加快质量控制过程。控制软件通过报告和处理所有运动控制错误保持晶圆安全。

nSpec®CPS

规范

  • 重量

    540公斤

  • 尺寸(宽x深x高)

    158厘米x 173厘米x 202厘米

  • 分钟。真空要求

    24。Hg (70 kPa)

  • 电力供应

    110 v / 220 v, 30安培

  • 一次运行一盘磁带:

    每盒式磁带25片

  • 标准晶片尺寸

    300,200mm带适配器

  • Pre-Aligner

  • 照明模式:

    Brightfield, Darkfield, DIC(诺玛斯基)

  • 光源

    白光LED，其他选择

  • 目标

    2.5, 5, 10, 20，或50x，用户可选择

  • 旅行,典型的

    X和Y方向350mm

  • 定位

    带闭环编码器的直线伺服电机(50 nm分辨率)

  • 可重复性

    + / - 0.5μm

  • 旅行的平面度

    20μm

  • 建设:

    精密地面滚道和高刚性直线导轨

  • 越来越多的平台

    独立平台集成到机柜系统

  • 集中载荷容量:

    5公斤

  • AFM

  • 秒/宝石

  • OCR相机

  • 空气离子发生器