nSpec^®LS

世界上最先进的自动检测系统

检测系统的设计允许简单地设置重复的质量控制测试，除了单一的图像捕获或扫描设置。配置选项包括晶圆尺寸、要识别的缺陷类型和扫描分辨率。可选配硅片装载机和各种样品卡盘，以满足特殊需求。nSpec®也兼容我们的第四代人工智能软件，的印象，一个人工智能图像分析器，允许检测和分类感兴趣的特征。