常问问题。
系统是否能够进行关键尺寸测量？
是的。该系统能够进行关键尺寸测量，如特征测量和线宽。
你们提供NIST校准标准吗?
是的。根据客户要求，我们提供NIST校准标准。我们的标准校准是像素校准。
这个系统有多大?
我们的桌面NSPEC的好处之一®系统是其紧凑的尺寸- 32.63 w x 36.73H x 32.63 3d。如果您将该系统与自动晶圆装载机配对，其尺寸为44.63W x 36.73H x 32.63 3d
系统是否带有PC？
是的。标准系统配备了一台具有强大规格的PC机，能够进行超分辨率图像处理。
系统是否需要隔离表?
该系统不需要隔离表，但如果您想使用原子力显微镜透镜或在20x或更高分辨率下进行检查，推荐使用隔离表。我们的全自动系统包括一个TMC 63-561隔离表。
这个系统是研发的实验室工具还是生产工具?
这是两个。该系统可以作为研发的实验室工具，也可以作为生产工具。我们也可以定制系统，以满足您的特定需求。
系统可以对什么类型的缺陷或特征进行分类?
无论是凹坑、划痕、裂纹、颗粒或任何其他特征，该系统都可以定制，以检测出您想要发现的确切内容。该系统有一个人工智能分析器，训练AI分析器很简单，只要向它显示缺陷样本并命名您希望用于这些缺陷的分类即可。在几次“学习”会议之后，AI分析器将自动识别并分类这些缺陷。该系统还包括一个设备检查方法，构建一个理想的设备模板，并将其与其他设备进行比较，并标记任何偏离理想模板的区域。
系统会自动对焦吗?
是的。该系统具有自动对焦功能。它可以在预定义位置或每次图像捕获之前自动聚焦。该系统使用基于对比的自动对焦算法，其允许自动聚焦在完全透明或高反射材料上。
系统是否自动设置光强度？
是的。如果你想要自动设置光强，你可以将光强设置作为用户自定义的首选项，并将你的首选项设置保存为“作业”以备将来使用。
系统是否具有OCR功能？
系统是否具有OCR功能？
该系统使用哪种光学系统?
该系统使用Olympus Brightfield / Darkfield目标。
该系统使用什么类型的光源?
标准系统使用白光LED。我们也可以配置一个系统与传输，超亮LED，近紫外线，卤素，或其他指定波长。
系统使用什么照明模式?
标准nSpec®系统包括亮场、暗场和DIC(差分干涉对比度/诺玛斯基)成像模式。该系统还可以适应不同的荧光滤光片，并可以将其他成像模式与标准亮场模式配对。我们还提供一个可选的透射光源。
什么是最高的缺陷或特征分辨率？
在超分辨率之前，阿贝极限是显微镜分辨率的极限。阿贝极限是由德国物理学家恩斯特·阿贝于1873年发现的，这个“极限”解释了光学成像仪器的分辨能力受到光的物理衍射特性的限制。这一限制阻碍了光学显微镜的分辨率长达一个多世纪。但是现在有了超分辨率技术，阿贝极限可以被克服。nspec.®系统使用超分辨率，可以检测250纳米尺寸范围内的缺陷。我们还提供计算显微镜方法，可以检测和分类超出传统光学显微镜的限制的缺陷，以及可以在单纳米范围内提供地形和测量的扫描探针原子力显微镜（AFM）镜片。
系统可以使用过滤器或其他波长的光源吗?
是的。系统可以适用于适应各种滤光器和光源。
系统是否使用透射光?
是的。该系统可以配置为使用透射光。
系统上可以安装多少个目标?
可以安装五个目标。包括的标准目的是5倍，我们提供可选的原子力显微镜（AFM）镜头。还提供其他目标（1.25,2.5,10,20,50和100x）。
相机的像素是多少?
相机是6百万像素，典型像素尺寸为5.5微米，帧速率为17.4 fps。
你们提供彩色成像吗?
是的。该系统可以配备彩色摄像机进行想象。图像分析是灰度的，除了AI分析仪执行的分析。
视野有多大?
视场为3296 x 2472像素。检测1µm及以上缺陷的典型视场为2.5mm × 2mm。
DIC照明模式使用哪种棱镜?
该系统采用诺玛斯基棱镜进行DIC照明。
多个系统通信吗?
是的。我们的一位客户在生产过程的各个步骤使用12个系统，所有系统都相互通信。
系统是否有SECS/GEM能力?
是的。该系统具有SEC / GEM兼容性。
系统是否与MES应用程序集成?
是的。我们的软件团队将与您的工程师合作，以便在NSPEC之间启用消息传递®以及你们的生产执行系统。
系统可以分析从不同系统获取的图像，例如SEM吗？
是的。分析来自其他系统(如SEM)的图像的能力是可能的。
什么类型的样品可以扫描?
我们可以扫描半导体、陶瓷、聚合物和透明样品。
我如何知道该系统是否适用于我的示例和应用程序?
我们的解决方案团队将倾听您的检查挑战，并与您合作，找到最适合您需求的解决方案。我们将使用您提供的样本来展示我们对您的挑战的检查解决方案。
该系统能检查透明样品，如玻璃和光学?
是的。该系统可以检测玻璃和光学透镜等透明样品。
系统能检查面料和材料吗?
是的。该系统可以检查各种基板，包括织物和材料。
系统可以扫描条形码阅读器样本ID吗？
是的。该系统允许操作员使用条形码阅读器扫描样本id。
扫描一个样本需要多长时间?
扫描时间取决于所需的分辨率和样本大小。例如，在0.908 um /像素分辨率下的100mm样品需要六分钟才能扫描。
什么是可以扫描的最大样本区域？
标准是200mm x 200mm，但我们也提供300mm的系统，如果您需要大于300mm的设备，我们将为您创建定制的解决方案。
您能满足定制样本吗？
是的。我们将根据您的需要设计解决方案。
系统有自动晶圆处理器吗?
是的。系统处理程序专为晶圆设计，但我们的自动化团队可以轻松设计定制处理程序，以便使用您要检查的任何基材。
晶圆装载机适应的尺寸范围是多少？
晶圆处理机可以容纳2到8英寸晶圆。提供全自动晶圆处理系统，我们可以自定义为非晶圆应用程序自定义自动处理设备。
系统能适应边缘排除吗?
是的。系统可容纳边缘排除，排除区域可根据需要进行调整。
系统能检查环上的晶圆碎片吗?
是的。我们的标准样品卡盘可以容纳圆环上的切片。我们还可以容纳凝胶包、口罩和碎片。我们将定制样品卡盘和夹具，以满足您的具体需求。
系统能检查带图案的晶圆吗?
是的。该系统将图像图像和创建与其他模式相比的金色模板，并且任何显着偏差都被标记为缺陷。
可以使用3D形貌扫描模式进行表面粗糙度测量吗？
是的。表面粗糙度可以用地形数据计算。nspec.®可以使用快速的非接触式光学方法在亚微米分辨率下捕获3D地形。
3D扫描是否接触表面?
是和否。我们可以定制一个适合您需求的解决方案。如果您不想使用曲面联系，我们可以使用焦点堆叠方法创建3D地形，或者我们可以从不同方向上获取相同的表面观点的多个图像，从而揭示3D表面细节。如果需要亚微米分辨率，则使用表面触点。我们有一个原子力显微镜（AFM）镜片，用于表面接触检查。
三维地形的最高分辨率是多少?
对于X和Y轴分辨率为0.200μm，最大3D形貌分辨率为0.200μm，Z轴分辨率约为70nm。我们还提供可选的原子力显微镜（AFM），具有1.7nm x，y轴分辨率和0.34nm z轴分辨率。
AI Analyzer如何工作？
人工智能分析器可以识别模式，并从数据中产生见解。训练AI分析器很简单，只要向它展示缺陷样本，并为这些缺陷命名您想要使用的分类。在几次“学习”会议之后，AI分析器将自动识别并分类这些缺陷。
您提供软件更新吗？
是的。我们在不断更新我们的软件。我们的软件更新可以远程安装，或者如果您愿意，或者如果远程访问不可用，我们的技术服务团队的成员将到现场安装软件更新。
软件是否可以安装在工作站上？
是的。系统可以安装在工作站上。该软件也可以安装在计算机上并仅用于图像分析。
该系统使用什么类型的图像分析技术?
我们使用基本阈值、计算机视觉、基于黄金模板和人工智能图像分析技术。我们的分析显示了产量并有助于分配因果关系，因此您可以快速调整您的过程。
系统有宏扫描和分析功能吗?
是的。该系统可以捕获宏观层面的缺陷并在数秒内对其进行分析。
系统是否可以导入KLARF来进行缺陷评审?
是的。系统支持KLARF格式的导入导出。系统可以审查导入的KLARF文件上的缺陷。
扫描和分析数据的输出是多少？
我们可以导出到KLARF、csv和xml格式。
您是否为个人客户或应用程序定制软件?
是的。我们将定制软件以满足客户的需求和其他特殊应用。
我可以要求新功能或硬件修改吗？
是的。您可以随时申请新功能或硬件修改。我们的自动化团队为客户设计了许多修改。
培训是否包含在系统中？
这个系统包括两天的培训。
建立一个新的检验配方需要多长时间?
可以在几分钟内设置配方，并保存为“作业”以供将来使用。