与nSpec^®在整个光刻/晶圆图版制造过程中，检测变得非常全面。

nSpec^®使用一种基于黄金模板的方法来捕捉容忍度非常低的细微缺陷，同时在具有较高水平变异或噪声的区域限制误报。收益损失数据可以帮助识别系统性问题。

与每个模具相关的缺陷信息可以发送到后端处理，并且模具可以在后续的制造步骤中排除，减少不必要的费用。

nSpec^®由于其拥有成本低和占地面积小，可以战略性地放置在每个加工车间，消除了将晶圆移动到中央检查车间的需要。

nSpec^®处理最复杂的用例，从单个视图域中的许多小型设备到由多个视图域组成的大型设备，以及非重复设备或偶数/奇数设备模式。