从多种工具类型集成您的分析

在每个节点上,晶圆检测变得越来越具有挑战性,成本也越来越高。将集成电路推向市场的生产流程提前期正在上升。复杂的检查、测试和验证程序会造成延迟。

拥有一个可以从所有其他工具中分析图像的工具可以节省时间并提高吞吐量。

无论图像是来自电子束还是光学检测系统,纳米电子软件都可以分析每个工艺步骤的图像,并为跟踪制造、分配缺陷因果关系和提供纠正反馈准备定制报告。188宝金博网页版下载
该软件有几种分析仪类型和设置完全可定制。还有四种缺陷报告查看模式。188宝金博网页版下载奈米电子学软件可以连接你工厂的所有检测设备,这样你就可以找到缺陷识别数据和工艺工具参数之间的关联,并及时纠正制造工具。