三维宏观尺度测量

宏观尺度的三维临界尺寸测量

的nSpec^®采用自动非接触点法快速确定三维关键尺寸。

下图显示了非球面透镜的临界尺寸轮廓。这种类型的可编程点采样可以用于各种基材，包括那些极低对比度的基材。

可以对报告进行定制，以使用对您重要的指标。下面的样本具有对偶数项6的最佳拟合系数^th与期望值相比的多项式阶数。