高速光学扫描
的nSpec®速度快,而且是全自动的。您可以在您选择的查看模式下快速扫描样本,系统将根据您设置的阈值和报告参数自动分析、存储、分类和报告缺陷。
我们建立了一个复杂的算法来检测、分类和提高成像和自动化硬件的分辨率。这包括一种专利方法,可以通过图像重建、更新类型的稀疏数据人工智能、创建速度最快的纳米地形的计算机视觉技术,以及传统人工过程的智能自动化系统来超越Abbe限制。
的nSpec®速度快,而且是全自动的。您可以在您选择的查看模式下快速扫描样本,系统将根据您设置的阈值和报告参数自动分析、存储、分类和报告缺陷。
的nSpec®采用自动非接触点法快速确定三维关键尺寸。
在每个节点上,晶圆检测变得越来越具有挑战性,成本也越来越高。将集成电路推向市场的生产流程提前期正在上升。复杂的检查、测试和验证程序会造成延迟。
该工艺检测由光掩膜或曝光过程引起的粒子和缺陷簇引起的缺陷。缺陷映射报告所有检测到的缺陷,该过程适用于大型设备,并在未区分的高频特征区域检测缺陷。
人工智能前沿的思考。机器学习和计算机复制人类大脑的能力。
尽管有很好的定义,系统放大和分辨率经常被误解。我们真正关心的是系统的分辨率-系统量化图像细节的能力。
本文讨论了一种新的反射光方法,该方法可以提供小于1微米的分辨率。该方法通过机械地以小的增量移动样品来避免可见光的衍射极限。